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电子气体
电子气体
气体品种 纯度(%) 气体品种 纯度(%) 气体品种 纯度(%)
NF3 ≥99.9 BF3 ≥99.9 CF4 ≥99.99
SiF4 ≥99.99 SF6 ≥99.99 WF6 ≥99.9995
C2H6 ≥99.96 CHF3 ≥99.95 BCl3 ≥99.999
Cl2 ≥99.999 HCl ≥99.999 SiH2Cl2 ≥99.0
SiHCl3 ≥99.0 SiH4 ≥99.996 PH3 ≥99.9997
AsH3 ≥99.999 HBr ≥99.998 HF ≥99.9
Si2H6 ≥99.8 SiCl4 ≥99.99 C4F8 ≥99.999
NH3 ≥99.999 N2O ≥99.999 C3F8 ≥99.0

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